“集成电路系列丛书·集成电路产业专用装备”编委会

主　　编：叶甜春

副主编：尹志尧　赵晋荣

责任编委：陈宝钦　康　劲

编　　委：（按姓氏笔画排序）

王　帆　王　晖　王志越　吕光泉　李超波

张国铭　陈福平　杨　峰　贺荣明　程建瑞