第260章 国产光刻机重大成功

102所与沪市微电子研究所，加上全国三十七个科研单位、六十二个工厂，总共有两千余人参与研发制造，加上与ASML交流的关键工台技术，历经六年时间，拆了六台光刻机，总投入高达数十亿美元，终于结出丰硕的成果...